Optimal design of piezoelectric micromachined modal gyroscope (PMMG) with modes matched: modal analysis
Veröffentlicht in: | Microsystem technologies. - Springer Berlin Heidelberg, 1994. - 21(2014), 1 vom: 21. Apr., Seite 101-108 |
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Format: | electronic Article |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2014
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ISSN: | 1432-1858 |
Externe Quellen: | lizenzpflichtig |
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