Effect of chemical additive on fixed abrasive pad self-conditioning in CMP

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	The international journal of advanced manufacturing technology. - Springer London, 1985. - 88(2016), 1-4 vom: 20. Apr., Seite 107-113
1. Verfasser:	Li, Jun (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Huang, Jiandong (VerfasserIn) Xia, Lei (VerfasserIn) Zhu, Yongwei (VerfasserIn) Zuo, Dunwen (VerfasserIn)
Format:	electronic Article
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2016
ISSN:	1433-3015
Externe Quellen:	lizenzpflichtig